Toodete kirjeldus
Alumiiniumoksiidi keraamilised sadestusrõngad on kriitiliste kulukomponentidena pooljuhtkiipide valmistamisel kasutatavate keemilise aurustamise (CVD) ja füüsikalise aurustamise sadestamise (PVD) seadmete{0}}tuumaseadmete reaktsioonikambrites. Nende materjalivalik ja kasutusnõuded on erakordselt ranged. Tavaliselt paigaldatakse need vahvlikandjate (elektrostaatiliste padrunite) ümber ja moodustavad osa protsessi reaktsiooniruumist. Nõudlikus pooljuhtide tootmiskeskkonnas on sadestusrõnga peamine ülesanne kaitsta kalleid põhikomponente (nt elektrostaatilisi padruneid) saastumise ja protsessi kõrvalsaaduste sadestumise eest, tagada protsessi ühtlus ning säilitada kambri puhtus ja stabiilsus.
Toote jõudlus
- Erakordne korrosioonikindlus: suudab taluda CVD/PVD protsessides kasutatavate korrodeerivate, väga reaktsioonivõimeliste plasmagaaside (nt fluori{2}}põhised, kloori-põhised gaasid) põhjustatud erosiooni, tagades pikema kasutusea.
- Suurepärane vastupidavus kõrgele{0}}temperatuurile: säilitab konstruktsiooni stabiilsuse ja jõudluse protsessitemperatuuridel sadade või isegi tuhandete kraadide Celsiuse järgi ilma deformatsiooni ja sulamiseta, näidates oma omadusi kõrgel temperatuuril{1}}alumiiniumoksiidkeraamikana.
- Kõrge puhtusastmega ja madala saastatusega: kõrge -puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamika (nt 99,9% või kõrgem) minimeerib saasteainete, nagu metalliioonide, eraldumise materjalist endast protsessikambrisse kõrgel-temperatuuril ja plasmatingimustes, vältides vahvlite saastumist. Pooljuht{6}}klassi rakendused taotlevad 99,99% alumiiniumoksiidi keraamika ülimat puhtust.
- Suurepärane mehaaniline tugevus ja kõvadus: omab piisavat jäikust, et säilitada mõõtmete stabiilsus, taludes samal ajal mehaanilisi pingeid ja paigaldusjõude. Tugevad mehaanilised omadused on aluseks kõikidele -keraamiliste alumiiniumplaatide, alumiiniumoksiidi keraamiliste varraste või alumiiniumtorude vormidele.
- Suurepärane isolatsioon: Alumiiniumoksiidi keraamika isolatsioonimaterjalina ei häiri elektrostaatilise padruni nakkefunktsiooni vahvlitega, tagades protsessi ohutuse ja stabiilsuse.
- Mõõdukas soojusjuhtivus: Aitab ühtlustada temperatuurivälja kambris, vältides samal ajal ülekuumenemist. See on hinnatud omadus soojust hajutavate komponentide jaoks, nagu alumiiniumoksiidi keraamilised aluspinnad või keraamilised jahutusplaadid.
- Kõrge täpsus ja töödeldavus: täiustatud keraamiliste vormimistehnikate ja täppistöötluse abil on võimalik saavutada keerulisi kujundeid erakordse mõõtmete täpsuse ja pinnaviimistlusega.
Toote rakendus
- Tooraine: vaja on peent alumiiniumoksiidi pulbrit, eriti kõrge{0}}puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamika jaoks. Alumiiniumoksiid (Al2O3) on põhikemikaal.
- Vormimine ja paagutamine: hõlmab alumiiniumoksiidi keraamika tootjaid, kes kasutavad alumiiniumoksiidi keraamiliste toorikute, näiteks alumiiniumoksiidplokkide, alumiiniumoksiidiplaatide (alumiiniumoksiidi lehed), alumiiniumoksiidi torude (al2o3 toru) ja alumiiniumoksiidi ketaste tootmiseks.
- Täppistöötlemine: teostavad alumiiniumoksiidi keraamika töötlemise spetsialistid või osade tarnijad, muutes toorikud lõppkomponentideks, nagu alumiiniumoksiidi keraamilised plaadid, alumiiniumoksiidi keraamilised vardad või keerulised alumiiniumoksiidi keraamilised konstruktsiooniosad.
- Muud vormid ja rakendused: Lisaks sadestusrõngastele on alumiiniumoksiidi keraamikal mitmekesised kasutusalad, näiteks alumiiniumoksiidi keraamilised substraadid (al2o3 substraat) pakendamiseks, alumiiniumoksiidi keraamilised membraanid ja alumiiniumoksiidi kiudtorud isolatsiooniks.
Sertifikaadid ja autasud
Meie ekspertidel on 20-aastane uurimis- ja arendustöö kogemus täiustatud keraamiliste materjalide ja täppiskeraamika iseseisval väljatöötamisel ja valmistamisel, et saavutada maailmatasemel-standardid. Meid on tunnustatud riikliku kõrgtehnoloogilise-ettevõttena ja oleme juhtiv talendiprojekt Shaoxingi linnas, mida tuntakse teadlaste kodulinnana.
Järgime järjepidevuse tagamiseks rangelt ISO 9001 kvaliteedijuhtimissüsteemi:
- 100% tooraine kontroll
- Täiustatud kuumpressimise{0}}tootmisliinid
- Sisemine-testimine: tihedus, kõvadus, mikrostruktuuri analüüs
- Kolmandate{0}}osapoolte sertifikaadid (SGS, CE, ROHS on saadaval nõudmisel)
tehase tugevus
Meil on kõrgetasemelised tehnilised teadmised paagutamise, vormimise, lihvimise, CNC-töötlemise, laserpuurimise, lihvimise ja poleerimise alal, võimaldades meil kohandada erinevaid keraamikatooteid vastavalt kliendi spetsifikatsioonidele. Meie digitaalsed töökojad ja nutikad tehased, mis on varustatud reaalajas-andmete kogumissüsteemidega, kasutavad säästliku tootmise põhimõtteid, et minimeerida raiskamist. Integreerides CNC-töötlustehnoloogia, tööstuslike asjade interneti ja automatiseeritud juhtimissüsteemid, saavutame tootmisseadmete vahel sujuva ühenduvuse ja koostöö, maksimeerides seeläbi tootmissäästu.
Kuum tags: keraamilised sadestusrõngad, keraamiliste sadestusrõngaste tootjad, tarnijad, tehas
