Toodete kirjeldus
Keraamilised ränikarbiidpadrunid on täiustatud funktsionaalsed komponendid, mis on valmistatud kõrge puhtusastmega ränikarbiidkeraamilistest materjalidest.
Need on spetsiaalselt loodud täpseks fikseerimiseks, toetamiseks ja soojusjuhtimiseks üli-kõrgvaakumis ja äärmuslikes protsessikeskkondades. Pooljuhtide tootmisseadmete-, nagu litograafiamasinad, söövitajad ja CVD/PVD-süsteemid,-põhitarvikutena määrab nende jõudlus otseselt kiibi valmistamise täpsuse, tootlikkuse ja tootmise efektiivsuse.
Toote jõudlus
- Erakordne kõvadus ja kulumiskindlus: Mohsi kõvadusega üle 9,2 on ränikarbiid üks kõvemaid tehnilisi keraamilisi materjale, mis on teemandi järel teine. See muudab ränikarbiidist tooted, nagu ränikarbiidist puksid, ränikarbiidist laagrid ja ränikarbiidist mehaanilised tihendid väga kulumiskindlaks ja sobivad ideaalselt kulumiskindla keraamika jaoks.
- Suurepärane termiline ja keemiline stabiilsus: sellel on äärmiselt madal soojuspaisumise koefitsient ja see võib inertses atmosfääris töötada temperatuuril kuni 1650 kraadi. See tulekindel omadus koos suurepärase vastupidavusega termilise šoki ning hapete ja leeliste korrosioonile muudab selle ideaalseks ränikarbiidist kütteelementide, ränikarbiidist kaitsetorude ning CMP- ja ICP-protsesside komponentide jaoks.
- Suurepärane soojusjuhtivus ja elektriline häälestatavus: selle kõrge soojusjuhtivus (sageli parem kui vask kõrgel temperatuuril) muudab ränikarbiidplaadid ideaalseks soojusjuhtimise substraatideks. Selle elektritakistust saab täpselt konstrueerida, võimaldades seda kasutada elektrostaatilistes padrunites (ESC) ja laia ribalaiusega pooljuhtmaterjalina jõuelektroonikas.
- Kõrge tugevus ja kerge kaal: paagutatud ränikarbiidil on kõrge mehaaniline tugevus ja jäikus suhteliselt madala tihedusega, aidates kaasa selliste komponentide vastupidavusele ja täpsusele nagu ränikarbiidist rullikud ja labad.
- Tootmise mitmekülgsus: ränikarbiidist keraamikat saab paagutamise, reaktsiooniga sidumise või keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) abil vormida keerukateks kujunditeks. Järeltöötlemine nagu ränikarbiidkate (nt CVD SiC kate) võib pinnaomadusi konkreetsetes rakendustes veelgi parandada.
Toote rakendus
- Pooljuhtide tootmine: oluline vahvlite käitlemiseks ja töötlemiseks. Peamised tooted hõlmavad söövitamiseks (ICP) ja sadestamiseks mõeldud ESC-sid (PVD, CVD), ränikarbiidi kandjaid CMP jaoks ja protsessikomplekte, nagu ränikarbiidist paadid, ränikarbiidist labad ja ränikarbiidist ahjutorud. Kõrge -puhtusaste on saastumise vältimiseks kriitilise tähtsusega.
- Tööstuslik ja metallurgia: kasutatakse ahjumööblina (rullid, talad), pumpade ja ventiilide komponentidena (tihendid, puksid), tsüklonite vooderdustena ja metallide sulatamiseks mõeldud tiiglitena. Ränikarbiidist tulekindlaid materjale kasutatakse kõrgtemperatuurilistes{1}}ahjudes.
- Energia ja keskkond: soojusvahetite komponendid (ränikarbiidsoojusvaheti torud), karmides keskkondades kasutatavate pumpade tihendusrõngad ja pihustusobjektide substraadid.
- Lennundus ja kaitse: kasutatakse keraamilistes maatrikskomposiitides (CMC), soomustes ja komponentides kõrge -temperatuuri ja suure-koormusega keskkondade jaoks tänu oma üli-kõrgele temperatuurile.
- Elektroonika: GaN substraadina SiC-l RF-seadmetes ja ränikarbiidist jõupooljuhtide endi alusmaterjalina.
- Autotööstus: komponendid pidurisüsteemides ja veepumpades ning elektrisõidukite jõuelektroonika põhimaterjalina.
- Lisandite tootmine: Kasvav kasutamine keraamiliste lisandite tootmises keeruliste ränikarbiidist osade tootmiseks.
Valiku põhjendus
Meie ränikarbiidist keraamilise vaakumpadruni valimine tähendab, et valite
- Suurem saagis: tänu erakordsele termilisele ühtlusele ja stabiilsusele väheneb protsessidefekte.
- Madalam CoO: märkimisväärselt väiksemad kulud vahvli kohta tänu pikendatud kasutuseale ja minimeeritud hoolduse seisakutele.
- Täiustatud protsessivõime: meie ettevõttel on üle 30 Hiina patendi. Valdame täiustatud tehnilisi protsesse, sealhulgas paagutamist, vormimist, lihvimist, CNC-töötlust, laserpuurimist, lappimist ja poleerimist.
- Usaldusväärne partnerlus: pakume teenuseid alates projekteerimisest ja tootmisest kuni testimise ja -müügijärgse toeni.
Tehase tugevus
Meie digitaalsed töökojad, nutikad tehased ja reaalajas andmehõivesüsteemid
Integreerides CNC-töötlustehnoloogia, tööstuslike asjade interneti ja automatiseeritud juhtimissüsteemid, saavutame tootmisseadmete vahel sujuva ühenduvuse ja koostöö, maksimeerides seeläbi tootmissäästu.
Kuum tags: Keraamilise ränikarbiidi padrun, keraamilise ränikarbiidi padrun, tootjad, tarnijad, tehas
