Toodete kirjeldus
Pooljuhtkeraamilised düüsid on kriitilised täppiskomponendid pooljuhtplaatide valmistamise seadmetes (söövitajad, keemilised aurustamise-sadestamise süsteemid ja ioonimplantaatorid). Nende põhiülesanne on protsessigaaside (või reaktiivsete gaaside) ja plasma täpne juhtimine, jaotamine ja juhtimine, suunates need suhtlema räniplaatide pindadega konkreetsete voolumustrite ja energiaolekute korral. See võimaldab selliseid protsesse nagu õhukese{2}kile sadestamine, mustri söövitamine ja pinna muutmine.
Toote jõudlus
- Erakordne kulumiskindlus ja pikem kasutusiga: keraamilistel materjalidel on äärmiselt kõrge kõvadus (nt 995 alumiiniumoksiidi keraamika ületab Hv1500, tsirkooniumoksiidi keraamika on samavõrd silmapaistev), mis talub tõhusalt pikaajalist -hõõrdumist tahkete osakeste tõttu suspensioonis, nagu fotoresist ja poleerimislahused.
- Erakordne keemiline korrosioonikindlus: need taluvad suurepäraselt fotoresistides sisalduvaid lahusteid, tugevaid happe/leelise puhastuslahuseid, reaktiivseid gaase ja muid söövitavaid aineid, mis ei roosteta ega keemilist lagunemist isegi pärast pikaajalist kasutamist.
- Suurepärane termiline ja mõõtmete stabiilsus: äärmiselt madala soojuspaisumise koefitsiendiga säilitab keraamika protsessi temperatuurikõikumiste korral ühtlase mikroni{0}} või isegi nanomeetri-taseme pooride kuju ja mõõtmed.
- Kõrge pinnaviimistlus ja madal saastumine: keraamilised paagutatud korpused võivad keraamilise täppistöötluse abil saavutada peegel{0}}taolise viimistluse. Nende pinnad on vastupidavad osakeste adhesioonile, ei ole-magnetilised ja neid on lihtne puhastada.
- Suurepärased isolatsiooni- ja funktsionaalsed omadused: keraamika on suurepärased isolaatorid. Alumiiniumoksiid pakub suurepäraseid isolatsiooniomadusi, mida tavaliselt kasutatakse alumiiniumoksiidi isolaatorites ja ZrO₂ isoleerivates keraamilistes plaatides. Alumiiniumoksiidnitriidkeraamika omab ka kõrget soojusjuhtivust, mis sobib kasutamiseks spetsiaalsete temperatuurikontrollinõuetega.
Toodete rakendus
- Plasmasöövitaja: toimib gaasipihusti pea või külgseina otsikuna söövitusgaasi ühtlaseks jaotamiseks.
- Keemilise aurustamise-sadestamise seadmed: PECVD- ja ALD-protsessides juhib lähtegaasi ühtlaselt reaktsioonikambrisse.
- Iooniimplanter: kasutatakse ioonkiire juhtimiseks ja moodustamiseks.
- Difusioonahi: toimib gaasi sissepritseotsikuna.
Kvaliteedikontroll
Järgime järjepidevuse tagamiseks rangelt ISO 9001 kvaliteedijuhtimissüsteemi:
- 100% tooraine kontroll
- Täiustatud kuumpressimise{0}}tootmisliinid
- Sisemine-testimine: tihedus, kõvadus, mikrostruktuuri analüüs
- Kolmandate{0}}osapoolte sertifikaadid (SGS, CE, ROHS on saadaval nõudmisel)
Sertifikaadid ja autasud
Meil on kõrgetasemelised tehnilised teadmised muu hulgas paagutamise, vormimise, lihvimise, CNC-töötlemise, laserpuurimise, lihvimise ja poleerimise alal. Kohandame erinevaid keraamikatooteid vastavalt kliendi nõudmistele.
tehase tugevus
Kasutame teaduslikke meetodeid ja tehnikaid kogu toodete või projektide projekteerimis- ja tootmisprotsessides, et optimeerida ja täiustada nende struktuuri, jõudlust ja tootmise töövooge vastavalt kliendi nõudmistele. See protsess on pühendatud tehnoloogia edendamisele, toote kvaliteedi parandamisele ja tootmiskulude vähendamisele.
Kuum tags: pooljuhtkeraamiline otsik, pooljuhtkeraamiline otsik, tootjad, tarnijad, tehas
